Wellenlänge: 213 ± 1nm
Operationsmodus: gepulst
Ausgangsleistung: > 10 mW; > 30 mW
Leistungsstabilität: < 1 %; < 3 % (rms, 4 Std.)
Pulsdauer: < 50 ps
Strahldivergenz: < 3 mrad (voller Winkel)
Strahldurchmesser: ~2 mm
Repititionsfrequenz: 5 MHz
Strahlhöhe: 128 mm
Kühlung: Luftkühlung
Aufwärmzeit: < 15 min
Arbeitstemperatur: 15 ~ 30 °C
Stromversorgung: AC 220V
Garantie: 1 Jahr